ナカヤマ ノボル   Noboru Nakayama
  中山 昇
   所属   千葉工業大学  工学部 宇宙・半導体工学科
   千葉工業大学  工学研究科 工学専攻
   職種   准教授
言語種別 英語
発行・発表の年月 2013
形態種別 学術雑誌
査読 査読あり
標題 Micro-hole inspection using audible sound
執筆形態 共著
掲載誌名 Acoustical Science and Technology
掲載区分国外
巻・号・頁 34(5),pp.371-373
担当区分 責任著者
著者・共著者 Yoshinori Nagasu,Kakumasa Eguchi,Takeshi Kazama,Seiichi Kudo,Kazunori Itoh,Makoto Otani,Noboru Nakayama,Eimatsu Sakagami,Tsuyoshi Mukaiyama
DOI 10.1250/ast.34.371
ISSN 1346-3969