ヤマウチ　ヒロシ   Yamauchi Hiroshi   山内　博    所属   千葉工業大学  工学部 宇宙・半導体工学科    職種   准教授
言語種別	日本語
発行・発表の年月	2012/11
形態種別	論文その他
標題	UV/O3アシスト熱処理法による塗布型酸化物FETの特性向上
執筆形態	共著
掲載誌名	電子情報通信学会技術報告
掲載区分	国内
出版社・発行元	一般社団法人電子情報通信学会
巻・号・頁	112(296),7-11頁
著者・共著者	酒井渉,山内 博,國吉繁一,飯塚正明,酒井正俊,工藤一浩
概要	有機ELディスプレイとして優位性を有するアクティブマトリクス駆動型の新型構造素子を提案した。また駆動用トランジスタの半導体層として塗布型ZnO 系材料に着目し透明ZnOトランジスタを作製した。一般にZnO薄膜は熱処理を行うことで特性の向上が見込まれるが、プラスチック基板等に対応するためには加熱温度を可能なだけ低温化させることが望ましい。そこで今回はUV/O_3アシスト熱処理法を行い、プロセス温度の低温化を実現した。
ISSN	0913-5685
PermalinkURL	http://id.ndl.go.jp/bib/024149296