イノウエ　ヤスシ   INOUE Yasushi   井上　泰志    所属   千葉工業大学  工学部 先端材料工学科    千葉工業大学  工学研究科 工学専攻    千葉工業大学  工学研究科 先端材料工学専攻    職種   教授
言語種別	英語
発行・発表の年月	2001
形態種別	学術雑誌
査読	査読あり
標題	Reduction of carbon impurities in silicon oxide films prepared by RF plasma-enhanced CVD
執筆形態	共著
掲載誌名	Thin Solid Films
巻・号・頁	390(1-2),pp.88-92
著者・共著者	Katsuya Teshima, Yasushi Inoue, Hiroyuki Sugimura and Osamu Takai