ナカヤマ ノボル   Noboru Nakayama
  中山 昇
   所属   千葉工業大学  工学部 宇宙・半導体工学科
   千葉工業大学  工学研究科 工学専攻
   職種   准教授
言語種別 日本語
発行・発表の年月 2014
形態種別 学術雑誌
標題 低周波音響信号利用による微細穴検査技術:—検査に使用する周波数と検査分解能の関係—
執筆形態 共著
掲載誌名 精密工学会誌
掲載区分国内
出版社・発行元 公益社団法人 精密工学会
巻・号・頁 80(11),1023-1030頁
担当区分 責任著者
著者・共著者 長洲 慶典,中山 昇,伊東 一典,大谷 真,江口 穫正
DOI 10.2493/jjspe.80.1023
ISSN 0912-0289