クスヤマ ジュンペイ   Kusuyama Jumpei
  楠山 純平
   所属   千葉工業大学  工学部 機械工学科
   千葉工業大学  工学研究科 機械工学専攻
   職種   准教授
言語種別 日本語
発行・発表の年月 2022/07
形態種別 学術雑誌
標題 SiC ウェーハのロータリ研削における加工特性
砥粒貫入角度を用いた評価
執筆形態 共著
掲載誌名 砥粒加工学会誌
掲載区分国内
出版社・発行元 砥粒加工学会
巻・号・頁 66(7),408-413頁
担当区分 筆頭著者,責任著者
著者・共著者 楠山純平,中尾陽一,川瀬美真,金澤雅喜,石川一政,余語政輝