クスヤマ ジュンペイ
Kusuyama Jumpei
楠山 純平 所属 千葉工業大学 工学部 機械工学科 千葉工業大学 工学研究科 機械工学専攻 職種 准教授 |
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言語種別 | 日本語 |
発行・発表の年月 | 2022/07 |
形態種別 | 学術雑誌 |
標題 | SiC ウェーハのロータリ研削における加工特性
砥粒貫入角度を用いた評価 |
執筆形態 | 共著 |
掲載誌名 | 砥粒加工学会誌 |
掲載区分 | 国内 |
出版社・発行元 | 砥粒加工学会 |
巻・号・頁 | 66(7),408-413頁 |
担当区分 | 筆頭著者,責任著者 |
著者・共著者 | 楠山純平,中尾陽一,川瀬美真,金澤雅喜,石川一政,余語政輝 |