サトウ ノブオ
Satoh Nobuo
佐藤 宣夫 所属 千葉工業大学 工学部 宇宙・半導体工学科 千葉工業大学 工学研究科 工学専攻 千葉工業大学 工学研究科 機械電子創成工学専攻 職種 教授 |
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言語種別 | 日本語 |
発行・発表の年月 | 2024/04/01 |
形態種別 | 学術雑誌 |
標題 | 交番磁気力顕微鏡を用いた直流電流路周囲の磁場勾配観測 |
執筆形態 | 共著 |
掲載誌名 | 電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌) |
掲載区分 | 国内 |
出版社・発行元 | 電気学会 |
巻・号・頁 | 144(4),62-67頁 |
総ページ数 | 6 |
担当区分 | 最終著者,責任著者 |
著者・共著者 | 角 真輝, 大山 祐生, 佐藤 宣夫 |
概要 | 我々は,パワー半導体デバイス内の電流経路の包括的なイメージングのために,FM-AFM/KFM/A-MFM技術を統合した多機能走査型プローブ顕微鏡(Multi-SPM)システムを開発した.この高度なMulti-SPMセットアップにより,表面形態,表面電位,および磁場強度勾配の同時可視化が可能である.直流電流の非導通および導通の両方の間に,これらのパラメータを同一の空間領域で同時に調査することができた.特に,磁場強度勾配分布は,直流電流の流れによって生成される静的磁場を正確に捉えた.特に注目すべきは,電流の導通およびその方向に応じた磁場勾配分布のHz成分の強度と極性の動的変化である.これらの発見に基づき,A-MFMが直流経路周囲の磁場の観察を効果的に可能にする. |
DOI | https://doi.org/10.1541/ieejsmas.144.62 |
ISSN | 1347-5525 |
PermalinkURL | https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejsmas/144/4/144_62/_article/-char/en |