サトウ　ノブオ   Satoh Nobuo   佐藤　宣夫    所属   千葉工業大学  工学部 宇宙・半導体工学科    千葉工業大学  工学研究科 工学専攻    千葉工業大学  工学研究科 機械電子創成工学専攻    職種   教授
言語種別	日本語
発行・発表の年月	2024/04/01
形態種別	学術雑誌
標題	交番磁気力顕微鏡を用いた直流電流路周囲の磁場勾配観測
執筆形態	共著
掲載誌名	電気学会論文誌Ｅ（センサ・マイクロマシン部門誌）
掲載区分	国内
出版社・発行元	電気学会
巻・号・頁	144(4),62-67頁
総ページ数	6
担当区分	最終著者,責任著者
著者・共著者	角 真輝, 大山 祐生, 佐藤 宣夫
概要	我々は，パワー半導体デバイス内の電流経路の包括的なイメージングのために，FM-AFM/KFM/A-MFM技術を統合した多機能走査型プローブ顕微鏡（Multi-SPM）システムを開発した．この高度なMulti-SPMセットアップにより，表面形態，表面電位，および磁場強度勾配の同時可視化が可能である．直流電流の非導通および導通の両方の間に，これらのパラメータを同一の空間領域で同時に調査することができた．特に，磁場強度勾配分布は，直流電流の流れによって生成される静的磁場を正確に捉えた．特に注目すべきは，電流の導通およびその方向に応じた磁場勾配分布のHz成分の強度と極性の動的変化である．これらの発見に基づき，A-MFMが直流経路周囲の磁場の観察を効果的に可能にする．
DOI	https://doi.org/10.1541/ieejsmas.144.62
ISSN	1347-5525
PermalinkURL	https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejsmas/144/4/144_62/_article/-char/en