サトウ ノブオ   Satoh Nobuo
  佐藤 宣夫
   所属   千葉工業大学  工学部 宇宙・半導体工学科
   千葉工業大学  工学研究科 工学専攻
   千葉工業大学  工学研究科 機械電子創成工学専攻
   職種   教授
言語種別 日本語
発行・発表の年月 2024/04/01
形態種別 学術雑誌
標題 交番磁気力顕微鏡を用いた直流電流路周囲の磁場勾配観測
執筆形態 共著
掲載誌名 電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌)
掲載区分国内
出版社・発行元 電気学会
巻・号・頁 144(4),62-67頁
総ページ数 6
担当区分 最終著者,責任著者
著者・共著者 角 真輝, 大山 祐生, 佐藤 宣夫
概要 我々は,パワー半導体デバイス内の電流経路の包括的なイメージングのために,FM-AFM/KFM/A-MFM技術を統合した多機能走査型プローブ顕微鏡(Multi-SPM)システムを開発した.この高度なMulti-SPMセットアップにより,表面形態,表面電位,および磁場強度勾配の同時可視化が可能である.直流電流の非導通および導通の両方の間に,これらのパラメータを同一の空間領域で同時に調査することができた.特に,磁場強度勾配分布は,直流電流の流れによって生成される静的磁場を正確に捉えた.特に注目すべきは,電流の導通およびその方向に応じた磁場勾配分布のHz成分の強度と極性の動的変化である.これらの発見に基づき,A-MFMが直流経路周囲の磁場の観察を効果的に可能にする.
DOI https://doi.org/10.1541/ieejsmas.144.62
ISSN 1347-5525
PermalinkURL https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejsmas/144/4/144_62/_article/-char/en