サトウ　ノブオ   Satoh Nobuo   佐藤　宣夫    所属   千葉工業大学  工学部 宇宙・半導体工学科    千葉工業大学  工学研究科 工学専攻    千葉工業大学  工学研究科 機械電子創成工学専攻    職種   教授
言語種別	英語
発行・発表の年月	2019/11/14
形態種別	学術雑誌
査読	査読あり
標題	Development of atomic force microscopy combined with scanning electron microscopy for investigating electronic devices
執筆形態	共著
掲載誌名	AIP Advances
掲載区分	国外
巻・号・頁	9(11),pp.115011-1-115011-8
総ページ数	8
著者・共著者	Takeshi Uruma, Chiaki Tsunemitsu, Katsuki Terao, Kenta Nakazawa, Nobuo Satoh, Hidekazu Yamamoto, and Futoshi Iwata
DOI	10.1063/1.5125163
PermalinkURL	https://pubs.aip.org/aip/adv/article/9/11/115011/1056332/Development-of-atomic-force-microscopy-combined