サトウ　ノブオ   Satoh Nobuo   佐藤　宣夫    所属   千葉工業大学  工学部 宇宙・半導体工学科    千葉工業大学  工学研究科 工学専攻    千葉工業大学  工学研究科 機械電子創成工学専攻    職種   教授
言語種別	英語
発行・発表の年月	2020/06/15
形態種別	学術雑誌
標題	Evaluation of silicon carbide Schottky barrier diode within guard ring by multifunctional scanning probe microscopy
執筆形態	共著
掲載誌名	Japanese Journal of Applied Physics
掲載区分	国外
出版社・発行元	The Japan Society of Applied Physics
巻・号・頁	59,pp.SN1014
著者・共著者	K. Nakayama, S. Masuda, N. Satoh H. Yamamoto
DOI	10.35848/1347-4065/ab9629