サカモト ユキヒロ
Yukihiro Sakamoto
坂本 幸弘
所属
千葉工業大学 工学部 先端材料工学科
千葉工業大学 工学研究科 工学専攻
千葉工業大学 工学研究科 先端材料工学専攻
職種
教授
研究期間
2001/06/18～2002/03/31
研究課題
プラズマによる薄膜加工技術開発とその評価
実施形態