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イノウエ ヤスシ
INOUE Yasushi
井上 泰志 所属 千葉工業大学 工学部 先端材料工学科 千葉工業大学 工学研究科 工学専攻 千葉工業大学 工学研究科 先端材料工学専攻 職種 教授 |
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| 研究期間 | 2020/04/01～2023/03/31 |
| 研究課題 | 反応性プラズマ環境下の斜入射堆積法によるナノ構造化薄膜堆積技術の確立 |
| 実施形態 | 科学研究費補助金 |
| 研究委託元等の名称 | 独立行政法人 日本学術振興会 |
| 研究種目名 | 基盤研究（C） |
| 科研費研究課題番号 | 20K05064 |
| 研究制度 | 科学研究費補助金 |
| 代表分担区分 | 研究代表者 |