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オダ アキノリ
ODA Akinori
小田 昭紀 所属 千葉工業大学 工学部 電気電子工学科 千葉工業大学 工学研究科 工学専攻 千葉工業大学 工学研究科 電気電子工学専攻 職種 教授 |
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| 研究期間 | 2014/04～2017/03 |
| 研究課題 | 大気圧ハイドロカーボンプラズマ支援ＣＶＤによるＤＬＣ成膜技術開発に関する基礎研究 |
| 実施形態 | 科学研究費補助金 |
| 研究委託元等の名称 | 日本学術振興会 |
| 研究種目名 | 基盤研究(C) |
| 科研費研究課題番号 | 26420247 |
| 研究制度 | 科学研究費補助金 |
| 代表分担区分 | 研究代表者 |